RIX晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 半導(dǎo)體專用 EMS系列

RIX晶圓真空夾緊用旋轉(zhuǎn)接頭 半導(dǎo)體專用 EMS系列

規(guī)格：

適用流體：純水、空氣 、真空
最大壓力 ：-0.095～0.6MPa
最大通路：5
最大轉(zhuǎn)速：800min-1
主要途徑與其特點：

在旋轉(zhuǎn)托盤的冷卻水IN/OUT用，晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加

應(yīng)用端設(shè)備對象：精磨/粗磨、CMP裝置

我司主打品牌明細表：

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新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機